| 1. 품명 |
D-E-S LINE (현상-부식-박리기) |
| 2. 제조사/제조국 |
Eclat Forever Machinary Co.,Ltd. / Taiwan R.O.C. |
| 3. 일반 설계조건 |
사용 전력 |
220VAC/60Hz/3-Phase |
| 공기 공급 |
4~7Kg/cm² |
| 실내 온도 |
22 ± 5℃ |
| 4. 특정 설계 요구사항 |
현상 |
Oscillation 가능 |
| 사용온도 32~36℃ 유지 |
| 자동약품 공급장치 사용 (액상) |
| 수세 - Hot DI 사용 |
| Inspection + Lighting System 사용 |
| 부식 |
촉매제로 과수 또는 염소산 선택 |
| Oscillation 가능 |
| 사용온도 40~50℃ 유지, +5℃ 가능 |
| 보조탱크 : 염산 & 과수(염소산) 2개 사용 |
| Inspection + Lighting System 사용 |
| 염소산 사용시 puddle 현상 방지 기능 사용 |
| 에칭 압력조절 가능 - 배관별/라인별 |
| 박리 |
진행속도 0~6.0m/min, 0.1m/min 조절 가능 |
| 사용온도 60~65℃ 유지 |
| 자동약품 공급장치 사용(액상) |
| 공통 |
각 약품라인이 끝나는 시점에 inspection zone 사용 |
| 진행속도 0~6.0m/min, 0.1m/min 조절 가능 |
| 진행속도 개별 조절 가능 (현상-부식-박리) |
각단의 투입구에 투입센서 부착 사용
센서에 의한 start/stop 자동 조절가능 |
| 5. 품질특성 요구사항 |
현상 |
Break point : 50~55% (50pitch 기준)
1oz Cu, 1mil ADH, D/S 기준 |
| 부식 |
Etching factor : 4.0 이상 (50pitch 기준)
1oz Cu, 1mil ADH, D/S 기준 |
하프 에칭시 알파값이 2μm이하
1oz Cu, 1mil ADH, D/S 기준 |
| 박리 |
드럼필터 방식사용
원통필터 40mesh & 바스켓필터 80mesh 사용 |
| 공통 |
탱크내부 용액농도 : Target ± 1% 만족 |
| 탱크내부 용액농도 : Target ± 2% 만족 |
1/2oz Cu, 1mil ADH, D/S 미만인 자재를 통과시
Lead panel 사용 |
| 기타 |
박리이후 초음파 수세 사용 가능 |
| 초음파 이후 산세 사용하지 않으나 필요시 추가가능 |
| 6. 유틸리티 |
전기용량 |
소모전력 : 155kw |
| 물 사용량 |
60 L/min |
| 배기량 |
35㎥/min |
| 프로그램 |
PLC 콘트롤 : 미쓰비시 (made in Japan)
염화동 재생장치 콘트롤 : AQUA System |
| 7. 주요특징 |
박판 및 LCD, PDP 제품 생산을 위한 wet 설비로 잘 알려진 대만 EFM의 축적된 기술로 타 설비에 비해 박판 및 FPC 제품의 생산에 적용성이 뛰어나며, 특허를
획득한 특수 콘베이어 구조와 독특한 스프레이 분사시스템을 갖추고 있습니다.
(Body-sliding system) |
